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2019-08-24

真(zhēn)空係統在汙染管理中的應用

由於人們對工業高度(dù)發達的負麵影響預料不夠,預防不利,導(dǎo)致了全球性的三大危(wēi)機:資源短缺、環境汙染(rǎn)、生態破(pò)壞。由於人為因素(sù)使環境的構成或狀態發生變(biàn)化,環境(jìng)素質下降,從(cóng)而擾亂和破壞了(le)生態係統和人類的正常生產和(hé)生活條件的現象,針對(duì)這些問(wèn)題,越來越多企業重視環境保護,東莞市日本人人交(kè)真空科技有限公司旗下的真空係(xì)統為汙染管理提供一係列的解決方案,打算將真空係統在(zài)汙(wū)染管理中的應(yīng)用,會有什麽樣子的效果。

 

汙(wū)染管(guǎn)理用真空係統是日本人人交專門為半導(dǎo)體和製藥行(háng)業最新開發的。憑借日本人人交真空多年來作為真空(kōng)技術供(gòng)應商(shāng)的經驗,已經使(shǐ)我們對(duì)生產體係的工藝、設備以及環境(jìng)的(de)專有技術 和理解完全成形。基於這一認識,技術人員(yuán)已開發了能夠識別並最小化汙染以及提高工藝每個步驟產量的解決方案。

 

真空係統


汙染是如何發(fā)生的?

在半導體行(háng)業,在運輸和等待期間,晶圓(yuán)發射出了反應副產品。通(tōng)過氣流傳播(bō)的水分和分子汙(wū)染物(空氣分子汙染物,簡(jiǎn)稱 AMC),例如氟化氫(HF),在運輸箱(吊艙係統)的(de)狹隘間隙裏與環境空氣中的氧化劑(H2O 和 O2) 發生反應。在這些(xiē)反應中,生長在結構化晶片上那些不需要的晶體被觸發,從而導致了質(zhì)量的下(xià)降和產量(liàng)的(de)減少。在製藥行業,比(bǐ)如濕度、氧氣或微生物侵入等汙染可(kě)以在整個產品生命周期影響藥(yào)物穩定性。

 

環境汙(wū)染源主要有(yǒu)以(yǐ)下幾方麵:

(1)工廠排出的廢煙、廢氣、廢水、廢渣(zhā)和噪音(yīn);

(2)人們生活中排出的廢煙、廢氣、噪音、髒(zāng)水、垃圾;

(3)交通工具(jù)(所有的燃油(yóu)車輛、輪船、飛機等)排出的廢氣和噪音;

(4)大量使用化肥、殺蟲(chóng)劑、除草劑等化學物質的農田(tián)灌溉(gài)後流出的水;

(5)礦山廢水、廢渣;

(6)機器噪音,電磁輻射,二氧化碳汙染;空氣中主要汙染物有二氧化(huà)硫、氮氧化物、粒(lì)子狀汙染物、酸雨。

 

中央真空站特點:

1、真空站的真空上、下(xià)限值(zhí),可通過真空(kōng)表設定在0~-0.1Mpa之間,誤差(chà)值在±10%。

2、真空站用儲氣罐根據用戶要求製造,一般(bān)在0.1~3m3之間。真空(kōng)站啟動後,真(zhēn)空罐內真空度始終保(bǎo)持在設定的上、下限值之間。

3、配置真(zhēn)空(kōng)泵采用品牌真空泵,可根據(jù)用氣量相應配置型號。

4、控製方式(shì):

A、單泵自動、手動控製(zhì)。

B、雙(shuāng)泵一開一備用(yòng)或雙泵分開單泵定時自動(dòng)循環運行控製,或雙(shuāng)泵(bèng)同時聯動運行自動控製。

5、真空負(fù)壓站每台泵均配置帶充氣電磁止回閥一(yī)套,防止真空回油故障。

6、特殊行業可根據客(kè)戶要求設計金屬或粉塵過濾器,有效地保(bǎo)護真空獲得設(shè)備。

 

日本人人交真空係統在汙染管理中的(de)應用提高了敏感器件生產各個工藝步驟的產量(liàng)及良率。為保證生產質量和高(gāo)產量,對器(qì)件包(bāo)裝中的汙染物及其直(zhí)接環境(jìng)的認識是十分重(chóng)要的(de)。


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