試驗真空環境模擬為了考核和研究某些活動部件、伸展機構的幹摩擦、冷焊性能和研（yán）究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應，需要在更高的真空度和其他空間環境因素的組合（hé）下進行試驗。大家都知道現在真空係統在各個行（háng）業的應用越來越廣泛，下麵我們為（wéi）大家介紹一下現在常用（yòng）的真空係統真空係統在熱真空試驗設備中的應用吧。

日本人人交真空係統應用於半導體（tǐ）、集成電路、光電器件的製造工藝過程（chéng），是集成電路專用（yòng）設備中的關（guān）鍵（jiàn）設備之一；它也用於各種其它鍍膜設（shè）備和真空應用設備中。

熱真空試驗是指（zhǐ）在真空和一定的溫度條件下驗證航天器及其組（zǔ）件各種性能與功能（néng）的試驗，由冷浸、熱浸與變溫過程組成。其環境條件為真空度優（yōu）於6.5×10-3Pa；具有冷（lěng）黑背（bèi）景，半球法向發射率大於0.90。在模擬試驗時，試件多處於工作狀態並測量其工作參（cān）數和環境參數。冷浸是使航天器及其（qí）組件處於規定的試驗最低（dī）溫度，並停留規定的時間；熱浸是使其處於規定的試驗（yàn）最高溫度，並停留規定的時（shí）間。從室溫開始降至規定的試驗最（zuì）低溫度，實行冷浸再上升至規定的（de）試驗最（zuì）高溫度（dù），實（shí）習熱浸，最後回到室溫，成為一個溫度循環。

熱真空試驗設備又稱（chēng）空間環境模擬設備或空間模擬器，它是模擬衛星及其組件在軌道運行中的高真空條件下（xià），對衛星組件（jiàn）進行考（kǎo）驗，這就是通常說的（de）組件熱真空試驗。熱真空試驗箱主要由（yóu）真空容器、熱（rè）沉與輻射屏、試驗平台、製冷、加熱係統、真空係（xì）統、真空係統、循（xún）環水係統（tǒng）、供氣係統、測量與控製係統及（jí）安全保護係統組成。

日本人人交真空（kōng）係統在（zài）熱（rè）真空試驗（yàn）設備（bèi）中的應（yīng）用的使用說（shuō）明

真空係統在投入生產（chǎn）使用前，必須仔細檢查各部位（wèi）緊固件是否有鬆動（dòng）現象，若有鬆動必須校正擰緊。開車前（qián）水箱必須加滿水，打開泵進口閥，再（zài）運行（háng）耐腐泵，嚴禁泵脫水空轉及反轉，以防止損壞機（jī）封、葉輪及泵體（tǐ）其它部件。真空（kōng）係統停車前先（xiān）打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下（xià），再停車。以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥。（如止回閥失（shī）靈，請打（dǎ）開（kāi）止（zhǐ）回閥蓋，清除雜物）。在使用汽水串聯噴射真空係統時（shí），先開車再打開蒸汽閥（fá），停車時先關掉蒸汽閥再停（tíng）車，以防止溫度過高而損壞水噴射真空泵。真空（kōng）係統在安裝蒸（zhēng）汽管路時，管路一定要保持水平，防止管內有積水，否則將影響真空效果。水（shuǐ）箱內的循（xún）環水應經常更換或補充（chōng），盡量保持較底的水（shuǐ）溫，因為水溫過高會影響排氣量和真空（kōng）度（dù）。