東莞市日本人人交（kè）真（zhēn）空科技有限公司旗（qí）下的旋片真空泵以清潔無汙染，而且擁有（yǒu）較寬的抽速範圍以及良好的節能、穩定、易維護等優勢廣泛應用於半導體行業，半導體工（gōng）藝用真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空幹法刻蝕， 真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，今天日本人人交的技術人員來給大家普及一下（xià）旋片真空泵在半導體（tǐ）工藝（yì）中的應用不可忽視的安全（quán）問（wèn）題。

半導體材料（liào）可以分為元素半導體和化合物半導體兩大類，元素半導體（tǐ）指矽、鍺單一元素形成的半導（dǎo）體（tǐ），化合（hé）物指砷化镓、磷化銦等化合物形成（chéng）的半導體。砷（shēn）化镓的電子遷移速率比矽高5.7倍，非常適合用於（yú）高頻電路。

半導體生產製造過程中容易產生易燃易爆以及有毒的物質氣體，會對生產及人員安全造成威（wēi）脅，因此，旋（xuán）片真空泵在半導體工藝中的應用（yòng）時需要注意的幾個安全事項（xiàng）主要有（yǒu）以下幾點內容：

1、定期清洗旋片真空泵及其（qí）他附（fù）件、過（guò）濾、管道，避免超壓；

德國旋片真空泵在半導體（tǐ）中應用時，抽取介（jiè）質過程中經（jīng）過反應室與（yǔ）真空泵，其成分可能極為複雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可（kě）能與（yǔ）泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質（zhì），就可能堵塞（sāi）真空泵或管路係統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，第一點中提到的危險性（xìng）也更大。所以需要及時的（de）清洗，並在必要的時（shí）候設置過濾設備。

2、有效稀釋有害氣體的濃度；

半導體（tǐ）易產生前麵所說的易燃易爆（bào）、有毒的有（yǒu）害（hài）氣體。所以半導體用真空泵應用過程中，在抽取這些介質時（shí）就必須防止它們在真空泵內或者（zhě）排氣過程中發生一（yī）些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣（qì）或氧接（jiē）觸的時候，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣（qì）在空氣中的混合（hé）比例達到一（yī）定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決於該（gāi）物質的量以及與環境的壓力、溫（wēn）度的關係。因此半導體真（zhēn）空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓（yā）縮前即將（jiāng）這些氣體稀釋到當時條件下的安全範圍。

3、注意（yì）氧（yǎng）氣的濃度；

空氣中的氧如果濃度過高（gāo）也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋（shì），防止濃度過高；假設是油封機械泵可能還（hái）需要采用一些惰性的（de）與氧相容的真（zhēn）空泵油（yóu），並及時（shí）更換（huàn）油濾和（hé）油品。

4、防（fáng）止（zhǐ）溫度過高；

半導體在真空泵（bèng）的（de）應用（yòng）中，有害氣體比較多，而（ér）無論是幹式真空泵還是油封機械泵，泵腔內溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生（shēng）危險。

以上四個方麵就是旋片真空泵在半導體工藝中（zhōng）的應用過（guò）程中最（zuì）主要的幾個安全（quán）事項，我們（men）一（yī）定不可忽視，技術人員說小問題對運轉、產量、效率（lǜ）和（hé）安全都有聯係，如果想要工作更加的順利，我們應該延長真空泵的使用壽（shòu）命（mìng），努力協調（diào）平衡，保證效率與安全。