2019-05-16
真空係統在半導體機(jī)台自動化中的應用
真空係統在半導體機台自動化(huà)中的應用,主要(yào)有四個方麵,其中包含顯示屏製造、LED、晶(jīng)圓級封裝。對於在潔淨和可控(kòng)環境中進行的晶圓輸送,半導體的應用程序需要高精度自動化以及可靠的、可預測的真空性能。東莞市日本人人交真空科技有(yǒu)限公司提供了(le)一整套半導體自(zì)動(dòng)化輸運解決方案 ,可作為(wéi)獨立(lì)組件或集成係統的一部分,用於真空和大氣晶圓輸送。
運用我們可靠的低溫能力和領(lǐng)先水平,普諾(nuò)克提供了真(zhēn)空泵、冷卻(què)和水氣抽除解決方(fāng)案,這些解決方(fāng)案可以為甚至最苛刻的應用提供可預測的、無微粒的真空或冷卻性能。
真空係統在半導體機台自動化中的應用
1.顯示屏製造
顯示屏製造要求可整合自動化、真空和水抽除的獨特解決方案。隨著基片尺寸不斷增大(dà),顯示屏製造商需要使用可傳遞更重負載的自動化(huà)裝置。基(jī)片尺寸(cùn)的增大還會導致更高的氣(qì)和水負載,從而在製造工藝的關鍵(jiàn)環節對抽氣的要求不斷提高。日本人人交真空係統廠家提供了一整套自動化處理、真空和水抽除的解決方案,以(yǐ)滿(mǎn)足此快速增長的市場需求。
在各種(zhǒng)高端應用中,在大氣和真空基片處理機械手臂和真空係統領域處於領先地位。 結合無與倫比的(de)技術和強大的知識產權,提供了一係列生產(chǎn)效率最大化,同時購置成本最小化的解決方案,以提(tí)高製造效率,從而滿足(zú)當今製造商的需求。
我們的(de)真空係統可在工藝沉積設備的多個(gè)位(wèi)置使用,以去除(chú)關鍵位置的水或氣體,從而生產出可靠的高分辨率的顯示屏。
2.LED
由於發光二極管 (LED)製造商和設備製造(zào)商在(zài)不斷追求降低成本的新方法,使用自動化(huà)的基片傳輸、測繪和校正(zhèng)已逐漸成為提高產量、減少占地麵積和降低總購置成本(běn)的普遍現象。LED 基片傳輸的自動化過程要求多個不同的基片(piàn)尺寸、負載和材料類型(xíng)實現簡單、可靠且可預(yù)測的性能。
利(lì)用我們(men)在前端半導體處理方麵(miàn)的悠久曆史和技術經驗,這些產品在快速發展的新型市場中擁有無與(yǔ)倫(lún)比(bǐ)的質量、可靠性和可重(chóng)複性。德國真空係統廠(chǎng)家已準備好采用(yòng)完整的基片傳輸解決方案或快速部署組件,以便實現係統集成。在設計、製造、服務和支持(chí)專業技術的整個生命周期內,我們將與您(nín)一道采用經(jīng)市場驗證的解決方案。
3.晶圓級封裝
先(xiān)進的封(fēng)裝和(hé)晶圓級封(fēng)裝應用(yòng)程序需要(yào)獨特的(de)自動化和晶圓處理能力來適應日益纖(xiān)薄和間或弧形的基片。普諾(nuò)克提供了(le)一整(zhěng)套工廠自動化輸送解決(jué)方案,可作為獨(dú)立組件或集成係統的一部分,用於真空和大氣(qì)製造環境。我們的解決方案可(kě)以在以下(xià)環節中提供輸送(sòng)晶圓機械手臂,這些晶圓機械(xiè)手臂都帶有標準的和定製的末端感應器,堆疊式晶圓和輸送器的映射,晶圓逆變器,可靠的非標準基片處(chù)理以及運輸設(shè)備:
3D 集成和直通矽穿孔技術 (TSV)
晶圓凸塊
再分配
借助我們在前端(duān)半導體工藝方麵的實踐經驗和精深專長,在這片飛速發展的新(xīn)興市場,我們的自(zì)動(dòng)化處理解決(jué)方案為您提供的是無與倫比的質(zhì)量、可靠性和可重複性。以上提(tí)到的資料就是真空係統在半導體機台自動化中的應用。
意大利研發與製造技術
全球(qiú)領先的真空泵與真空係統製造廠商
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